等離子體微型光譜儀要是線(xiàn)狀譜和連續(xù)譜。線(xiàn)狀譜是等離子體中的中性原子、離子等由其高能級(jí)的激發(fā)態(tài)躍遷到較低能級(jí)時(shí)所產(chǎn)生的，單個(gè)粒子發(fā)射的譜線(xiàn)強(qiáng)度主要決定于:①原子或離子的外層電子處于上能級(jí)的幾率,②這種電子從上能級(jí)躍遷到下能級(jí)的躍遷幾率，③光子在逸出等離子體之前被再吸收的幾率。但微型光譜儀的譜線(xiàn)的總強(qiáng)度與電子和離子的密度和溫度有關(guān)，每條譜線(xiàn)有它自己的強(qiáng)度分布規(guī)律,因此從譜線(xiàn)強(qiáng)度的測(cè)量,結(jié)合理論模型和上述光譜中的原子數(shù)據(jù)，可以得到電子、離子的密度、溫度等信息。根據(jù)多普勒效應(yīng)，從微型光譜儀的譜線(xiàn)波長(zhǎng)的移動(dòng)可確定等離子體的宏觀運(yùn)動(dòng)速度。連續(xù)譜是電子在其他粒子的勢(shì)場(chǎng)中被加速或減速而產(chǎn)生的。從連續(xù)光譜強(qiáng)度的測(cè)量，也可得到電子密度、溫度等數(shù)據(jù)。

　　

　　測(cè)量等離子體的輻射，如譜線(xiàn)強(qiáng)度、譜線(xiàn)輪廓以及譜線(xiàn)的分裂、位移等后，就可以得到等離子體的一些參量，如等離子體成分、溫度、密度等。這方面的工作構(gòu)成等離子體微型光譜儀，是等離子體診斷學(xué)的一個(gè)重要組成部分。