手持式光譜儀是掃描型的儀器，當儀器運行時，許多部件在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器等，經常動作的部件容易出現問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現問題。都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的部位。但是有些在測量過程中出現的問題靠診斷軟件是發現不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構比較熟悉，且具有一定的維修經驗。
 

　　手持式光譜儀具有以下優點：
 

　　1、分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
 

　　2、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
 

　　3、是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
 

　　4、分析精密度高。
 

　　5、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
 

　　6、手持式光譜儀跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。波長變化用于化學位的測定。